近日,广东省测量控制技术与装备应用促进会、广州市仪器仪表学会在深圳组织并主持召开了由深圳市中图仪器股份有限公司完成的深圳市科技创新委员会重大技术攻关项目(编号:JSGG20150529110028468)成果《基于热稳频控制的高精度多参量激光干涉仪研制与产业化》鉴定会。由来自华南理工大学、中国科学院广州电子技术研究所、西安电子科技大学、合肥工业大学、暨南大学、广东省计量科学研究院、广东省机械研究所等单位7位专家组成鉴定委员会,鉴定会由广东省测量控制技术与装备应用促进会秘书长张健民高工主持。
会议现场
项目开展激光热稳频伺服控制、双路激光干涉信号高速处理、多参数几何量干涉光路计算及波长环境校准等关键技术研究,研发了基于主动稳频算法的双纵模He-Ne激光器热稳频控制技术和系统,开发出可用于多参量测量的激光干涉仪产品,具有稳定性好、环境适应性强、大量程、应用灵活、性价比高等特点。项目已获得发明专利2件、实用新型专利5件、软件著作权登记1项,拥有自主知识产权。项目产品经中国计量科学研究院和深圳市计量质量检测研究院校准测试,所检项目符合标准要求。项目产品已产业化,在先进数控机床、自动化加工、精密仪器与计量等行业得到广泛应用,用户反映良好,取得了显著的经济效益和社会效益。鉴定委员会一致认为,项目成果在高端科学仪器的国产化、产业化方面取得突破,在激光干涉仪的热稳频伺服控制和多参数测量技术方面达到国际先进水平,同意通过科技成果鉴定。
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SJ6000激光干涉仪的出现打破了国外企业的垄断,为我国装备制造产品升级提供了有力支撑。中图仪器自成立以来就以“改变精密仪器依赖进口的局面,为中国制造的产业升级提供高端装备”为己任,筚路蓝缕,艰辛创业,研制出了一批批独立自主的计量检测仪器,服务中国经济发展。